6ES7221-1EF22-0XA0大量现货

6ES7221-1EF22-0XA0大量现货

 引言

　　高温扩散/氧化系统是半导体器件、集成电路制造过程中用于对晶片进行扩散、氧化、退火及合金等工艺的一种热加工设备，也适用于对其他材料的特殊温度工艺处理，是一种用于长时间连续工作、高精度、高稳定性的自动控制设备。在半导体生产过程中，扩散炉炉温控制的精度及其工作的稳定性已成为半导体产品质量的决定性因素。然而，在传统的控制中，扩散炉的控制管理都是由基于单片机的仪器仪表来完成，其温度控制精度、生产工艺控制能力以及自动运行能力较低，难以实现集中管理，从而导致了产品质量差、生产效率低的缺陷。

　　系统针对我国半导体扩散/氧化工艺技术发展现状开发设计，采用先进、可靠的PLC为控制核心，以触摸屏为人机界面，配以高精度温度检测电路，采用模糊自整定PID为控制器，可实现复杂的工艺温度控制。具有检测、控制精度高、工作过程稳定性好、控制参数自整定、设定参数方便等特点。

1 半导体扩散/氧化工艺流程

　　高温扩散/氧化系统主要由扩散炉、净化工作台、推拉舟系统、气源柜等组成。半导体器材生产过程中扩散/氧化工艺流程为：1）将扩散炉的温度按一定的温度工艺升温至特定的温度，并保证炉内处于恒温状态;2）将操作人员放在推拉舟托盘上所要扩散的晶圆经推拉装置送入扩散炉内;3）在扩散炉保持特定的恒温条件下，向扩散炉内注入各种要参杂的气体。整个参杂过程要保证炉体内形成一个特定的恒温区，才能使晶圆扩散均匀。所以温度控制是扩散工艺控制系统中重要的环节，控制效果的好坏直接决定着半导体扩散的质量。

2 系统硬件设计

　　根据半导体扩散/氧化工艺过程的要求，即既要实现整个工艺控制过程自动化又要实现半导体扩散/氧化工艺要求。系统以PLC为核心，液晶触摸屏为人机界面，采用自行研制的JC-9温度检测模块实现温度的采集等。系统硬件结构如图1所示。

图1系统硬件结构图
Fig.1 Structure chart of the systematic hardware

　　由图1所示系统硬件包括三个闭环控制：

　　① 温度控制：采用JC-9温度检测模块实现温度检测，通过PLC调用PID控制算法控制自行研制的三相大功率调压调功单元来实现温度的控制，实现闭环控制。

　　温度控制是扩散工艺控制系统中重要的环节，控制效果的好坏直接决定着半导体扩散的质量。要保证控温的精度首先要保证温度的检测精度，其次要有相应的控制算法。系统采用的JC-9温度检测模块的检测精度优于0.5‰，编写模糊自整定PID控制算法使控制精度优于1‰。

　　② 气体liuliang控制：PLC从气体质量liuliang计的数字接口直接读取气体实际liuliang值，并根据扩散工艺中对气体liuliang的要求通过数字接口进行liuliang输出控制，实现闭环控制。

　　③ 推拉舟控制：PLC直接读取推拉舟位置编码器的数据来判断推拉舟的位置，通过高速脉冲输出口控制步进电机的驱动器来控制步进电机的运行，通过发送脉冲数控制推拉舟的位置，通过脉冲的频率控制推拉舟的速度。实现推拉舟的位置/速度闭环控制。

3 系统软件设计

　　系统软件设计包括触摸屏操作界面设计、模糊自整定PID控制算法设计及Modbus通信程序设计。

　　3.1 触摸屏操作界面[3]

　　触摸屏为人机对话界面，具有画面丰富，信息量大、操作灵活直观的特点。针对半导体扩散工艺及系统功能需求，设计用户界面主要界面包括：自动运行界面，手动运行界面，工艺参数设置界面，工艺曲线绘制界面，PID参数自整定界面等。

　　（1）自动运行界面。实现扩散炉各测点的温度检测值、设定值，各种气体liuliang值，各个阀的状态，推拉舟运行状态和速度的实时显示，完成整个工艺过程的监督功能。

　　（2）手动运行界面。手动运行适合于系统调试、状态测试等应用中。除了显示炉体的三点温度以外，其他部分均可通过按键实现手动操作。主要内容有：推拉舟“前进”“后退”运行控制;气路四个阀门的控制;氢气liuliang、氮气liuliang的控制。在“手动”画面中，设有推拉舟前进、后退速度设定，各种气体liuliang设定按键。用户可根据要求设定。

　　（3）工艺参数设置界面。系统可存储20套工艺配方，每个工艺配方由20个工艺段组成，每个工艺段可分为升（降）温和恒温两步。工艺参数界面设置可实现对每步的温度数值、持续时间、气路liuliang、推拉舟位置等参数进行设置。

　　（4）工艺曲线绘制界面。将控制过程的参数以数字方式显示，将炉体的三点温度以及设定温度值以曲线形式显示在画面中。

　　（5）PID参数自整定[4]界面。根据工艺的温度要求，选择整定温度，系统开始对炉体加温并开始自整定过程，实现PID参数的整定。

　　3.2 模糊自整定PID控制算法设计[5][6]

　　PLC作为系统的核心，完成各种信息的检测、处理，控制算法的实现，控制量的输出等。系统实现控制包括：对扩散炉九点温度的工艺控制;对气体liuliang工艺过程的控制;对扩散炉生产工艺的自动化过程控制。其中对温度的控制是至关重要的，控制效果的好坏直接决定着半导体扩散的质量。本系统采用模糊自整定PID 控制算法实现对温度的控制。

　　模糊推理控制算法程序的流程图如图2所示。计算时有以下几个步骤：

　　（1）确定误差和误差变化率以及控制量的论域，将和的实际变化范围分为7档（考虑本控制系统要求控制精度较高）,使每一档与其论域的某个元素相对应。这样，系统的每个实测量就可以被量化为论域中的某个元素。

　　（2）本系统通过离线计算出模糊控制表，实际运行时，PLC主程序中断执行查表子程序就可以得出控制量。

图2 模糊推理子程序
Fig.2Fuzzy reasoning subprogram

　　在现场的控制中，模糊自整定PID控制器的鲁棒性强，参数自整定易于实现，控制的精度较高。比单纯的PID控制器具有更快的动态响应特性，其控温效果较好。

　　3.3 Modbus通信程序设计

　　系统采用Modbus现场总线实现PLC主站与温度检测模块、气体质量liuliang计等各从站之间的通信。

　　1、以OMRON PLC为主站的主从站的通信[6]

　　系统选择OMRON CP1H系列PLC作为通信主站。CP1H是欧姆龙公司推出的功能强大的一体化小型PLC，它的两个串口中均内置的 Modbus-RTU主站功能，还配置了两个串行通信选件板RS422/485串口选件板和RS232串口选件板。系统选择作为从站的JC-9温度采集模块、气体质量liuliang计和推拉舟均含有RS485接口且已经内置Modbus协议，具有Modbus-RTU从站功能，只要按照编程手册进行相应设置即可实现主站通信。

　　2、从站的通信流程

　　系统从站包括JC-9温度采集模块、气体质量liuliang计和推拉舟装置，其中气体质量liuliang计和推拉舟装置购置时均内置Modbus协议（此处不作介绍）。 JC-9温度采集模块为自行研制的九路温度采集模块，此模块含RS485接口，由于系统通信采用Modbus通信模式，需在模块上自定义Modbus从站协议。从站收到主站指令，根据主站要求做出回应。从站与主站间通信中断程序处理流程如图3所示。

图3 从站Modbus通信程序处理流程
Fig.5 The procedure of Modbus communication procedure of the sub site

5 结束语

　　系统依据半导体生产过程中扩散/氧化工艺需求而设计，结构简单、操作简便、成本低、可靠性好，可大大tigao温度控制精度及工艺过程自动化水平。现已广泛应用于半导体生产企业，具有良好的经济效益和社会效益。

1 引言

　　近年来，随着我国自动化技术的tigao，工厂自动化也上了一个新台阶。PLC作为一个新兴的工业控制器，以其体积小,功能齐全，价格低廉，可靠性高等方面具有独特的优点。触摸屏的使用则为整个控制系统提供了良好的人机操作界面，因此二者的联合越来越广泛的应用于工业生产的各个领域。 印刷机械关键技术也主要侧重在智能化的提成。在印刷行业中的高速双面印刷机项目中我们选用了台达机电自动化PLC产品对电气进行了改进设计。

2 工艺自动化分析

　　印刷机是一个精度较高的机械，印刷品的好坏一方面在于机械加工以及安装的精度，另一方面，也取决于水路，墨路的平衡以及合压的准确性。双色机的每一色组，都有水路和墨路装置。为了便于水辊速度的调节，每根水辊都用一个变频器控制，同时，主电机速度也需要变频器调节。在印刷过程中，调版是一个比较繁琐的过程。尤其对多色机来说，各组版对正的精度会对印品产生很大的影响。如果套印不准，印刷品就会出现字面重叠或影像不清。如果使用手动调版，会浪费很多时间，而且精度不高。为了实现自动打版，我们在版辊上安装了电位器，通过电位器将模拟量传送给4A/D，经过PLC处理，可将版辊的转动精度很好地控制在打版范围内。由于自动工作模式下各动作要以一定的顺序工作，机械采用凸轮来控制各动作离合时的角度，电气选用二相增量型旋转编码器来实时测量凸轮的旋转角度，编码器每旋转一周，产生360个脉冲，PLC高速计数器计数720，到零位后复位重新计数。

3 台达机电技术的自动化应用

　　台达EH系列是一款可扩充高功能型PLC，具有高速度、高性能、涵盖应用层面广泛的特点。在原有的模拟输入输出模块、温度模块的基础上，中达电通今年又新推出几种高性能特殊功能模块，主要针对应用中需要高速jingque处理的控制场合，包括单轴定位模块01PU、1CH高速计数器模块01HC、2CH高速计数器模块02HC，极大的丰富了PLC应用功能，使其更加适应工业控制环境中的不同需求。

　　DVP01PU定位控制模块主要可应用于步进或伺服驱动系统之速度或位置控制，具有高200 KHz脉波输出，输出采用高速Line Driver 接口或NPN开集极输出，高噪声抑制；可透过程序指令FROM/TO来读写模块内之资料；模块内建原点复归、寸动运动、单段速定位运动、连续两段速定位运动、变速度运动、手摇轮 (MPG) 输入等八种行程控制模式及梯形曲线和S曲线两种脉波加速曲线； DVP01PU定位控制模块是一个容易使用的独立单轴脉波定位模块，适用于得以接收脉波控制的各种运用场合，由于定位控制的运算有专门的硬件来完成，简化了程序撰写和调试，能够轻松实现工件的jingque运动定位控制，是PLC较为高阶的应用。

3.1系统原理设计

　　控制部分以台达的DVP-EH型PLC为技术平台，触摸屏为操作界面，变频器作为执行构件。触摸屏通过COM2口与DVPEHPLC的COM口相连，采用MODBUS协议。PLC通过485口控制四台变频器，支持MODBUS协议。

3.2系统配置设计

　　台达PLC：DVP64EH00R＋扩展DVP08XP11R。台达触摸屏：DOP-A57CSTD。台达变频器：VFD110B43A；VFD004M21A。框架如图1所示。

图1印刷机系统配置设计

3.3编程案例

　　（1）触摸屏显示报警。台达EH系列PLC提供了方便的高速计数功能，使程序编写简单，调试快速。我们将编码器的信号线接入PLC的高速计数端子X0，X1，编码器的复位端子接X2，对应计数器为C251，Y23为主机运行，当编码器两相接错时，触摸屏显示报警M455。

　　（2）通讯调试。在小型电气控制系统中，设备间的通讯调试是一个难题，但台达PLC与变频器有简洁的通讯指令，一条指令即可解决问题。如读取主变频器的输出频率,先写好通讯协议，然后利用下条指令即可：其中通讯命令装置地址为01，数据地址H2103，数据长度2个word。两者的通讯省却了中间继电器的控制，减少了故障隐患，再利用触摸屏将PLC中的数据读出，可以方便地监视运转中出现的问题。

　　（3）画面设计。在人机界面中，设计了7幅画面，包括整体图形，故障显示，机器速度和计数显示，水辊速度显示，调版监控等。故障显示使用指示器，给出位元件即可实现闪动效果，让操作者很方便的知道故障部位，整体感很好。在水辊速度显示中，设计了一个柱状图，可以显示水量增加大小，只需按下柱状图，就可增加水量，同时也可方便监控。触摸屏的应用省略了原有的一些按钮、指示灯、计数器、转速表、时间继电器及润滑程控控制器等元器件，降低了故障率，也减少了接线的工作量。台达的人机编辑软件－TPEditor提供了7个等级密码的保护，有利于使用厂家对某些特定的使用条件进行了限定，保护了用户的利益。因触摸屏有3M的内存，所以设计时在画面中以走马灯的形式提供了大量的报警信息，也设计了多屏PLC输入、输出状态监视画面，在系统帮助里详细介绍了本机电气操作及维修提示，使整机的电气系统操作、使用、维修简单方便。

4 结束语

本套系统配置取代了原国外品牌的配置，性价比tisheng很多，tigao印刷机自动化水平，将节约大量的辅助时间，进一步tigao生产效率，故障率也远低于原配置。 与其他产品相比，感觉台达整体软件系统界面都比较友好，给用户编程，维修都带来极大方便。其触摸屏与PLC有很好的通用性，可通过触摸屏监视并修改程序，这是其它产品所不能匹及的。台达的工控元件给设计人员和用户都带来了很多方便。

供水系统是国民生产生活中不可缺少的重要一环。传统供水方式占地面积大，水质易污染，基建投资多，主要的缺点是水压不能保持恒定，导致部分设备不能正常工作。因此对恒压供水压力要求严格。人机界面同TrustPLC的整合应用可以实现无负压恒压供水。该技术先进、水压恒定、操作方便、运行可靠、节能自动化程度高。本文以TrustPLC CTSC-100系列PLC与TD4X四行文本显示器在杭州某电器自动化恒压供水系统的应用为例讲述PLC在恒压水泵系统中的应用。

一、工艺介绍

整个系统由一台变频器和3台水泵组成；系统以TrustPLC为控制核心，HMI作为系统操作。系统由两只量程为0~10.0Mpa的压力变送器分别检测两台水泵后的输水管道的进口压力和出口压力。PLC根据压力设定的大小控制3台水泵工作与停止，工频或者变频运行状态。压力变送器将检测到的压力信号转换为4~20mA的电流信号，送到变频器上，通过变频器的PID运算，控制变频运行的水泵的运行频率。 同时HMI设备能监视整个系统的运行情况及对压力和PID参数等进行设置。

图1

二、技术方案

图2

1、整机采用TrustPLC CTSC-100系列高性能小型CPU124主机和TD4X四行文本显示器进行控制；

2、压力PID控制由ACS510变频器完成,无需PLC编程，控制jingque；

3、CPU124XP 通过CO-TRUST 的MODBUS协议库与ACS510实现MODBUS通信，大大简化了程序。

三、控制要点

1、当水泵和变频器出现故障时要及时报警；

2、当仅一台水泵运行且运行时间达到设定时，要切换到其他空闲的水泵运行；

3、变频器运行时会对通信有一定得影响，故要注意把通信信号线避开动力线；

四、总结
PLC和变频恒压供水技术的应用tigao了设备自控系统的整体水平，做到了操作简便安全，现场无人职守，运行安全可靠。TrustPLC CTSC-100系列高性能PLC与TD4X四行文本显示器配合使用又大大降低设备的成本。

引言
电动缸是一种提供直线推力的运动装置，是一种高响应、长寿命的执行机构，在诸多领域得到广泛应用，包括：六自由度并联运动平台、娱乐仿真设备、生物测试设备、造波机、疲劳测试、飞机结构强度测试、动态仿真等。
在电动缸作为执行机构的控制系统中，电动缸直接由伺服驱动器控制，不再需要油、气等中间媒介传递动力，而采用油、气等动力传递媒介正是产生运动仿真、测试系统控制误差的主要原因，从而导致不准确、使用不方便，所以电动控制系统比液压系统更优越的控制性能，速度更快、承载能力更高、寿命更长。系统的控制性能不会受环境温度、易污染的液压阀和流体介质等因素影响，无需随着使用环境条件变化而做相应调整，减少设施投入和设备维护，节省安装空间且安装拆卸、调试方便。同时系统也可使用220v（单相或者三相）交流电源，电机和伺服驱动器之间的联线也非常简单，不再需要液压系统中复杂的油泵、管路、冷却系统以及其他附属设施。
与气缸相比，电动缸可以应用在那些不太合适使用高压空气的场合。与气缸所产生的轴向运动相比，螺纹的使用使运动有了更高的速度和力矩。在新的电动伺服系统中，在控制速度、位置和扭矩时，可以对每个动作设定；这个特点使一个简单的“圆柱体”成为一个真正的自动化系统，具有体积小，性能优，便于维护等优点。
电动缸也可以采用滚柱丝杠技术使系统具有更高的机械刚性、更长的使用寿命、更高的抗冲击能力，高效坚硬的滚珠丝杆适合做jingque定位和长距离往复运动，适合大轴向载荷的往复运动，并能够获得更高的可靠性和更长的使用寿命。
而厂家提供的电动缸出厂前需要进行严格的质检及其功能测试。为使其功能上能够满足客户的需求，出厂测试显得尤为重要，目前的测试手段基本上为人工手动测试，这样在测试上需要投入大量的时间和精力。为tigao整个生产的检验环节效率，需要一种专门的测试系统来代替之前人工测试的中间过程，使整个测试更高效、准确、全面。上海冀望机电科技有限公司是一家研发、设计、生产和销售伺服电动缸和电动伺服控制系统的国内企业，为tigao工作效率，委托开发这个测试系统。

测试系统的介绍及特殊要求
电动缸的出厂测试项目主要包括行程测试、走合测试和速度测试，应能根据所测对象的不同而进行相关参数设置，所以该系统主要有三个功能块：
（1）行程测试
该项测试需要设置前进和后退两个按钮控制，按照设计要求对整套系统进行全行程测试，电机的运行速度根据实际需要可方便调整，在近端和远端都停止，由外部测量机构得到该缸的真实大有效行程（根据操作人员的工作习惯），检验其在近端和远端是否出现堵转现象或者转矩过大的现象，同时检查大行程是否满足出厂规格。
（2）走合测试
在规定的走合时间内（一般为数个小时）整套系统运行的平稳性测试。走合测试受按钮控制，按下走合测试按钮，电机开始运行并计时，在所设置的范围内自动往复，走合时间到，电机停止运行。
（3）速度测试
根据测试相关规程，电机设置低、中、高三种速度进行测试，分别设三个按钮控制。电机在运行过程中，要求监控并采集相关数据，如电机速度、驱动扭矩等，将数据用图表显示，并且进行存储，方便检查和调用。
为tigao工作效率和充分利用现有设备的性能，系统采取了双通道设计，即单台plc控制两台电动缸，tigao效率，节约时间和成本。
对于整个系统而言，我们需要测量的主要对象有电动缸的大有效行程、在较长时间的运行的平稳性、电机的转速和转矩。电机的转矩是测量对象中重要的一个参数，反映了电机动态性能是否达标，对实时性的要求很高。我们在设计时综合考虑了现场需求、操作习惯、测量精度、采样率、兼容性及价格等因素，对采用的元件进行了选型。

系统的硬件设计
系统选用松下plc和weinview触摸屏为控制核心单元。
可编程逻辑控制器(简称plc)是专为在工业环境中应用而设计的一种工业控制用计算机, 具有抗干扰能力强、可靠性高、体积小等优点, 是实现机电一体化的理想装置。
选用的plc的型号为松下fpx，是一种适用于小规模设备控制的小型通用plc，具有32k步的程序容量和0.32μs的程序容量，能够利用usb通信端口与计算机直接连接，提供标准rs232c接口与显示装置通信，脉冲输出频率大可达100khz，可以使用模拟定时器。提供32 路24vdc输入和28 路晶体管输出。plc内部的可编程单元主要有输入继电器x，输出继电器y，定时器 t，数据寄存器dt等等。
触摸屏为威纶mt6056iv,5.6英寸，320×234，65536色，外接电压为24v，400mhz的处理器，有64mbddr2内存和128mb闪存，通过组态软件eb8000制作人机界面和操作软件。
模拟信号的采集、转换，出于需要采集负电压的要求而选用fp0a21模块，且必须通过扩展fp0适配器与fpx配合工作，具有16位2个输入通道和1个输出通道，具有较高的精度和较强的抗干扰性。
试验用电动缸分别为松下公司minas-a4系列msma152p1电机配套mdddt5540驱动器和韩国macapion公司anypack系列apm-sb04adk2电机配套apd-vs04n驱动器。
在系统中，触摸屏（hmi）和plc之间采用rs232串行通信， plc根据程序设定以及外部输入做出逻辑判断，并且输出2路脉冲提供给2个驱动器，分别来控制对应电机的动作。而驱动器提供的模拟电信号（电机转速和驱动转矩的检测信息）均通过fp0a21模块进行a/d转换，转换后的数字信号从plc编程处理后送入到工控触摸屏中，且触摸屏可以进行数据图表记录和图形显示，从而实现对电动缸的相关信息在线监测。
整个系统的硬件结构框图如图 1 所示。

图1 系统硬件结构框图

电机驱动器的控制线均为50芯接口，我们根据所需要功能选取需要用到的针脚，制作控制线。plc端口分配与对应控制针脚如附表所示。
从附表我们可以看出，我们需要采用4输入通道的ad模块，但价格昂贵，由于走合测试的时间往往较长，根据操作习惯，往往在一台走合的时候，可以对另一台进行行程和速度测试并且进行数据监测和存储等工作，所以在这里，使用2个开关制作了双控电路，大大节约了成本，使原本需用4个ad通道的情况仅仅使用a21就可以解决问题。当需用测量某台电动缸的时候，拨动其对应开关接通，另一路开关断开即可。电路图如图2所示。

图2 双控电路图

系统的软件设计、工作原理、程序
我们使用松下公司提供的bbbbbbs环境下的plc编程工具fpwin gr进行plc程序的编写、编译和下载，其具备3种程序编辑模式：符号梯形图编辑模式、布尔梯形图模式和布尔非梯形图模式，支持数据、触点和时序图监控，i/o分配，在线编辑。主程序流程如图3所示

图3 主程序流图

由于出厂前的电动缸一般都为裸机，还没有根据客户方的要求而安装限位开关，且由于在该系统中需要测量大有效行程，所以在不能使用限位开关的情况下，如何保证电动缸在运行过程不发生撞缸堵转现象，从而保证电动缸的安全运行？我们经过反复思考、实验论证，终使用转矩限制信号来解决该问题。转矩限制信号一般由伺服电机驱动器的i/o接口中某个针脚提供，在电机转矩达到参数设定值时，该针脚输出有效，将plc某输入端子与之相连，检测其变化，作为程序中保护动作的触发条件。程序示例如图4所示，在这段控制某缸的行程测试的部分程序中，r60和r61两个常开触头分别作为电动缸前进和后退的动作开关，而x0接受对应驱动器提供的转矩限制信号，来控制中间继电器r60和r61的通断电。当x0有效（断开）时，plc停止发送脉冲，电机停止运转，从而起到类似限位开关的保护作用。经多次实验验证，在电动缸默认的参数设置下，符合绝大多数工作场合要求，即在电机转矩达到300%额定转矩才输出转矩限制信号，也能正常、安全的起停电机。
操作界面软件的设计主要基于eb8000组态软件。我们通过组态软件，来实现触摸屏上的相应功能，通过对程序模块的集合，快速、直观地生成人机界面，建立完整的解决方案，直观地显示在触摸屏上。该软件内容丰富，支持松下、西门子、三菱、欧姆龙等公司的多种各系列plc设备。该软件与以往工控软件编程复杂相比，降低了开发难度，缩短了触摸屏系统的开发周期。

图4 程序示例

系统的软件主要由运行界面、参数设置、行程测试、走合测试、速度测试、数据存储显示六个部分组成，在每个功能块里面均可以进行缸1和缸2的切换：
运行界面是整个测试系统的起始界面，如图5所示。

图5 运行界面

参数设置：在这个界面设置测试缸的编号，额定转矩和转速及其对应的输出模拟电压比例，减速比，电动缸的导程，每圈脉冲数ppr，希望测试的3种速度具体值等参数。
行程测试：可以自由设定运行速度，提供前进、后退和停止三个按钮进行控制，由于工作现场要求和设备性能限制，暂时只提供人工在近及远端手动测量，以后可以扩展功能，加装外部测量装置进行自动测量以及数据记录。
走合测试：提供时间设定、转速设定、走合起始位置和终点位置四项功能设定，并且进行当前电动缸位置的实时检测及显示，需要注意的是这里的位置信息实际上是有脉冲数换算得来，并没有外部测量装置进行全闭环。
速度测试：同样提供两个缸的功能切换，在不同速度和方向的工作状况下，都有速度和转矩两个数值显示框，提供电机驱动转矩的即时趋势图，采集频率为10hz，可以检视图中任意时刻且在检视数据框中显示，数据的采集和停止有对应的功能按钮来控制。
在速度测试页面点击历史图按钮进入电机启动过程的数据图示，记录时间1s，提供高达100hz的采样频率。点击数据按钮可以进入历史数据表格记录。该触摸屏可以存储7天的数据，每天数据量高可达80000组，已能满足工作需求，如图6所示。当需要保存更多数据时，可以使用usb数据延长线连接一个u盘，选择将数据保存至u盘即可。使用eb8000软件的转换功能可以很方便将数据导出为excel表格类型。

图6 数据表格记录界面示例

如果在测试过程中，运行出现状况，则由触摸屏提供声光报警。事故处理完毕后，需回到运行首界面进行报警信号清除，且恢复使能，才能重新正常工作。

结束语
基于plc和触摸屏的电动缸自动测试系统，具有自动化程度高、界面直观、功能强大、灵活性高等优点，可以有效地tigao测试的效率，具有很好的应用前景。目前，该系统已在上海冀望公司投入使用，较好地满足了该公司电动缸出厂时的检测需要，tigao了工作效率。